湿法转移石墨烯下水分纳米口袋的快速检测
材料科学
2018-05-04 v1
摘要
我们报道了对通过化学气相沉积生长并湿法转移至硅片上的大面积多晶石墨烯的石墨烯/衬底界面形貌的研究。我们结合了光谱椭偏仪、X射线光电子能谱和原子力显微镜，以获得关于该体系的形貌与化学信息。数据显示，湿法转移的样品可能随机呈现纳米尺度的起伏图案，表明在石墨烯与下方衬底之间 trapped 有微小的水纳米口袋。这些口袋影响石墨烯对衬底的粘附，但可通过在高真空中轻度退火有效去除。我们表明，椭偏仪能够通过多层介电建模，成功且可靠地检测此类杂散插层相的存在及其去除。因此，该技术快速、广泛适用且非侵入性的特点，可促进其用于快速可靠地评估转移至目标衬底上的石墨烯的粘附程度，无论是用于事后评估还是在线工艺监控。
引用
@article{arxiv.1805.01175,
title = {Fast detection of water nanopockets underneath wet-transferred graphene},
author = {Michele Magnozzi and Niloofar Haghighian and Vaidotas Miseikis and Ornella Cavalleri and Camilla Coletti and Francesco Bisio and Maurizio Canepa},
journal= {arXiv preprint arXiv:1805.01175},
year = {2018}
}
备注
11 pages, 4 figures