用于宇宙微波背景探测的天线耦合 KID 阵列的制备

动力学电感探测器（KIDs）因其固有的频率复用能力和简单的光刻工艺，已成为亚毫米和毫米波段观测领域中传统辐射热计的有力替代方案。这些优势使得 KIDs 成为即将开展的宇宙微波背景第四阶段（CMB-S4）实验所需 $O(500,000)$ 个探测器的可行选择。我们制备了针对 CMB 探测优化、工作于 150GHz 频段的天线耦合 MKID 阵列。我们的设计采用双缝天线耦合到由超导 Nb/Al 双层和 SiN$_x$ 制成的倒装微带线，再耦合到生长在高阻 Si 上的 Al KID。我们介绍了制备工艺及 SiN$_x$ 微带谐振器的测量。