半导体亚波长狭缝在紫外波段的异常透射
光学
2015-05-14 v1
摘要
在本文中，我们描述了一种从半导体衬底上刻蚀的亚波长狭缝实现异常透射机制的方法。与金属不同，典型的半导体如GaAs或GaP的介电常数在极紫外波段（λ ≤ 270 nm）开始变为负值。我们表明，块体半导体的类金属响应表现出表面等离子体波，从而导致紫外和软X射线波段的异常透射。还讨论了实际材料响应与完美导体相比的重要性。这些发现可能在高分辨率光刻、近场光学器件和超高密度光存储中具有重要意义。
引用
@article{arxiv.0909.5420,
title = {Extraordinary Transmission in the UV Range from Sub-wavelength Slits on Semiconductors},
author = {M. A. Vincenti and D. de Ceglia and N. Akozbek and M. Buncick and M. J. Bloemer and M. Scalora},
journal= {arXiv preprint arXiv:0909.5420},
year = {2015}
}