负电性电容耦合射频等离子体中条纹的实验观测与计算分析
等离子体物理
2016-07-20 v1
摘要
在强负电性气体（CF4）的离子-离子电容性射频等离子体的发光中，自组织空间结构首次被实验观测到。基于粒子动理学模拟，其形成机制得到分析和理解。这些“条纹”被发现是由驱动射频与离子-离子等离子体本征频率（由解析模型导出）之间的共振产生的，该共振建立了电场、离子密度以及等离子体中电子能量增益与损失过程的调制。数值模拟追踪了该不稳定性的增长。
引用
@article{arxiv.1606.00146,
title = {Experimental observation and computational analysis of striations in electronegative capacitively coupled radio-frequency plasmas},
author = {Yong-Xin Liu and Edmund Schuengel and Ihor Korolov and Zoltan Donko and You-Nian Wang and Julian Schulze},
journal= {arXiv preprint arXiv:1606.00146},
year = {2016}
}