通过确定性制备的微透镜增强定位控制量子点的光子提取效率

我们报道了基于单个定位控制量子点（SCQDs）和确定性制备的微透镜的可扩展单光子源（SPSs）的实现。制备过程包含埋层应力源生长技术，并辅以低温原位电子束光刻，以将SCQDs高良率、高对准精度地集成到微透镜结构中。微透镜方法实现了高达 (21 $\pm$ 2) $\%$ 的光子提取效率的宽带增强，以及在不进行背景减除的情况下对多光子事件的高抑制，其 g$^{(2)}$($\tau$ = 0) $<$ 0.06。所展示的量子点定位控制生长与原位电子束光刻的结合，对于可应用于光子量子电路和高级量子计算方案的高效SPSs阵列具有重要意义。