集成二维声子晶体的 MEMS 测辐射热计的热灵敏度增强
应用物理
2020-03-24 v2
摘要
我们在 GaAs 双端固支微机电系统（MEMS）梁谐振器上制备了二维声子晶体（PnC）结构以调控其热学性质。由于引入 PnC 结构降低了 MEMS 梁的热导，带 PnC 结构的 MEMS 测辐射热计展现出比未图形化参考样品高 2–3 倍的热灵敏度。此外，由于引入 PnC 也降低了 MEMS 梁的热容，图形化 MEMS 梁的热衰减时间仅增加约 30–40%，证明了 PnC 在增强测辐射热计热灵敏度的同时不会显著劣化其工作带宽的有效性。
引用
@article{arxiv.1905.08918,
title = {Enhanced thermal sensitivity of MEMS bolometers integrated with two-dimensional phononic crystals},
author = {Ya Zhang and Boqi Qiu and Naomi Nagai and Masahiro Nomura and Sebastian Volz and Kazuhiko Hirakawa},
journal= {arXiv preprint arXiv:1905.08918},
year = {2020}
}
备注
MEMS resonator, terahertz sensor, phononic crystal