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离子辐照Au纳米颗粒上增强的溅射产额:能量与尺寸依赖关系

材料科学 2015-05-06 v1

摘要

具有高斯形状、尺寸分布宽泛(30 nm至80 nm)的六方排列Au纳米颗粒(NPs)被沉积在Si衬底上,并分别用能量为20至350 keV的Ar+离子和1至30 keV的Ga+离子辐照。利用高分辨率扫描电子显微镜图像分析测量了溅射产额的大小和能量依赖性。这些结果与通过iradina(一种考虑纳米几何特性的蒙特卡洛(MC)代码)获得的模拟结果进行了比较。对于块体和纳米几何结构,实验获得的溅射产额均显著高于计算模拟结果。该差异可明确归因于热驱动效应,其显著影响了所测量的溅射产额。

关键词

引用

@article{arxiv.1505.00966,
  title  = {Enhanced sputter yields on ion irradiated Au nano particles: energy and size dependence},
  author = {Henry Holland-Moritz and Sebastian Scheeler and Christoph Stanglmair and Claudia Pacholski and Carsten Ronning},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1505.00966},
  year   = {2015}
}

备注

15 pages, 4 figures