室温下静电驱动的硅基纳米机械开关
介观与纳米尺度物理
2009-09-30 v1 材料科学
摘要
我们展示了一种能够在室温下在两个状态之间可控切换的硅基高频纳米机械器件。该器件使用一个在迟滞非线性区域中具有两个不同状态的纳米机械谐振器。与先前的工作相比，我们通过相位调制驱动信号，以100%的保真度演示了该开关器件的室温静电驱动与传感。这种相位调制器件可用作与硅电路片上集成的低功耗高速机械开关。
引用
@article{arxiv.0903.2491,
title = {Electrostatically actuated silicon-based nanomechanical switch at room temperature},
author = {Diego N. Guerra and Matthias Imboden and Pritiraj Mohanty},
journal= {arXiv preprint arXiv:0903.2491},
year = {2009}
}
备注
10 pages, 3 figures. Related papers can be found at http://nano.bu.edu/