硅光机械谐振器的静电驱动
光学
2011-05-13 v2
摘要
光机械系统利用光机械谐振器光学共振频率的偏移来检测机械运动，是目前最灵敏的方法之一。当前，这些系统用于测量机械热噪声位移或由光力驱动的机械运动。静电电容驱动和检测此前已在硅微机电谐振器中得到展示，并应用于滤波器和振荡器。本文中，我们展示了利用硅光机械盘形谐振器和波导，将静电电容驱动与光学传感进行单片集成。当输入电信号频率为235MHz（对应硅微盘的径向振动模式）时，电激发的机械运动表现为光强度调制。
引用
@article{arxiv.1006.2783,
title = {Electrostatic actuation of silicon optomechanical resonators},
author = {Suresh Sridaran and Sunil A. Bhave},
journal= {arXiv preprint arXiv:1006.2783},
year = {2011}
}