磁场配置对双极HiPIMS中双层形成和反向放电点火的影响
等离子体物理
2024-05-24 v1
摘要
当向磁控管施加足够长的正脉冲时，观察到双极HiPIMS中的反向放电（RD）现象。由于磁场的作用，积聚在磁阱后面的电子无法到达正靶。因此，在正靶和磁阱后面的等离子体之间形成空间电荷双层（DL），导致电子跨DL加速并引发RD。本研究揭示了磁场配置对RD点火的显著影响。实验使用钛靶，涉及磁场变化、悬浮电位探针测量和发射光谱成像。发现将磁场调整为更平衡的配置会导致更早的RD点火，而更不平衡的配置会延迟甚至阻止RD点火。具体地，RD点火时间随着磁零点距靶距离的增加而减小。此外，RD中光学发射的大小和形状随附近探针放置而变化，表明对外部电极的敏感性。
引用
@article{arxiv.2405.14560,
title = {Effect of magnetic field configuration on double layer formation and reverse discharge ignition in bipolar HiPIMS},
author = {M. Farahani and T. Kozák and A. D. Pajdarová and J. Čapek},
journal= {arXiv preprint arXiv:2405.14560},
year = {2024}
}