掺杂纳米机电系统
介观与纳米尺度物理
2015-05-13 v1 材料科学
摘要
我们提出了一种新一代纳米机电系统（NEMS），通过掺杂半导体基底材料实现。与传统方法不同，这些掺杂纳米机电系统（D-NEMS）不需要金属化层。这使它们更轻，从而提高了共振频率和品质因数。此外，D-NEMS 可以从导电态调谐到绝缘态。这将使大量新器件设计成为可能，如机械可调谐的 pin 结和纳米机械单电子开关。我们展示了从本征掺杂、轻掺杂到重掺杂的 D-NEMS 制造与运行。
引用
@article{arxiv.0708.1296,
title = {Doped Nano-Electromechanical Systems},
author = {Dominik V. Scheible and Hua Qin and Hyun-Seok Kim and Robert H. Blick},
journal= {arXiv preprint arXiv:0708.1296},
year = {2015}
}
备注
4 pages, 4 figures