利用非线性 MEMS 谐振器实现数字可编程高阶谐波生成
应用物理
2019-10-03 v1
摘要
一种完全电接口、芯片级的基于微机电系统的高阶谐波发生器具有多种应用，因为与光学中笨重且昂贵的高阶谐波生成装置相比，它既能同时实现与片上电子器件的单片集成，又具有微小尺寸。在此我们报道了首次演示使用薄膜锆钛酸铅弯曲模式微谐振器在 CMOS 兼容电压水平下产生超过 100 个音调的创纪录高阶谐波。这些谐波在制备后也可被恰当地进行数字控制。
引用
@article{arxiv.1910.00835,
title = {Digitally Programmable Higher-order Harmonic Generation Using Nonlinear MEMS Resonator},
author = {Gayathri Pillai and Sheng-Shian Li},
journal= {arXiv preprint arXiv:1910.00835},
year = {2019}
}