面向功率 MEMS 应用的低频隔热厚膜片开发
经典物理
2013-01-22 v1 流体动力学
摘要
微型热机面临的主要挑战是热绝缘以及滑动活塞情况下的机械容差。在微发动机中将活塞切换为膜片可以缓解后者并促成平面架构。然而，热绝缘需要非常厚的结构，这会带来过高的共振频率，从而损害发动机性能。因此必须做出热学和力学上的折中。相反地，基于流固耦合，利用密封在可变形膜片封闭腔体内的不可压缩流体，将有可能设计出一种厚实、低频的隔热膜片。该设计涉及简单的平面几何结构，易于通过标准微电子工艺制造。提出了一个解析流固耦合模型并进行了理论验证。制作并测试了实验结构。模型与实验结果相吻合。提出了一个无量纲模型，用于设计微机械的混合流体结构。
引用
@article{arxiv.1301.4589,
title = {Development of low frequencies, insulating thick diaphragms for power MEMS applications},
author = {Fabien Formosa and Adrien Badel and Hugues Favrelière},
journal= {arXiv preprint arXiv:1301.4589},
year = {2013}
}