用于溅射离子的多通道127度圆柱形能谱仪的设计
仪器与探测器
2017-06-13 v2
摘要
本文描述了一种配备位置灵敏微通道板探测器的127度静电圆柱形能谱仪的设计细节，该能谱仪用于测量高电荷离子与固体表面碰撞中产生的溅射离子。讨论了落点与离子能量之间的非线性关系、由入射角发散和有限入口光阑引起的落点模糊、从位置谱到能量谱的转换，以及边缘场的影响。
引用
@article{arxiv.0811.1815,
title = {Design of a multichannel 127 degree cylindrical spectrometer for sputtered ions},
author = {Deyang Yu},
journal= {arXiv preprint arXiv:0811.1815},
year = {2017}
}
备注
6 pages, 5 figures