基于聚焦离子束铣削的微米级电子柱设计与实现
仪器与探测器
2015-04-28 v1 介观与纳米尺度物理
摘要
我们设计、制造并测试了一个微米级电子柱，其总长约700微米，包含两个不同的电子透镜：一个最小孔径为1微米的微透镜，以及一个孔径直径达50微米的第二透镜，用于整形相干低能电子波前。设计准则遵循缩小源尺寸、透镜尺寸和动能电子能量以最小化球差、从而确保平行相干电子波前的理念。所有透镜孔径均采用聚焦离子束铣削，因此能够相对于光轴在约300 nm的公差内精确对齐。实验上，该最终电子柱整形出准平面波前，最小全发散角为4 mrad，电子能量低至100 eV。
引用
@article{arxiv.1504.06962,
title = {Design and Implementation of a Micron-Sized Electron Column Fabricated by Focused Ion Beam Milling},
author = {Flavio Wicki and Jean-Nicolas Longchamp and Conrad Escher and Hans-Werner Fink},
journal= {arXiv preprint arXiv:1504.06962},
year = {2015}
}