用于化学控制的自主电子微片的设计与制造
机器人学
2024-05-30 v1 材料科学
摘要
微片是带有可编程CMOS电子器件的自主微观粒子，能够通过执行器和传感器微电极控制溶液中的电动力学现象和电化学反应。微片设计为可通过集成超级电容器充电，并允许相互对接或与智能表面对接，以实现能量、电子信息和化学物质的交换。本文描述了在100×200微米尺度下单个微片（CMOS2）的设计与制造，其中超级电容器紧邻功能微片并占据一半空间。在其他工作中，我们表征了超级电容器，描述了电子设计，并利用这些微片阵列证明了其功能。本文介绍了集成功能涂层和超级电容器的制造细节，并展示了微片在分离后的电子功能。
引用
@article{arxiv.2405.15608,
title = {Design and fabrication of autonomous electronic lablets for chemical control},
author = {John S. McCaskill and Thomas Maeke and Dominic Funke and Pierre Mayr and Abhishek Sharma and Patrick F. Wagler and Jürgen Oehm},
journal= {arXiv preprint arXiv:2405.15608},
year = {2024}
}
备注
This article was originally submitted (2016) for review as supporting information for the final review of the EU MICREAgents Project # 318671 (2012-2016). Here it is presented in slightly revised form