热激光外延生长中的沉积速率：模拟与实验
计算工程、金融与科学
2025-01-06 v1 计算物理
摘要
热激光外延生长 (TLE) 中沉积速率的建模对于准确预测蒸发过程和改进动态过程控制至关重要。我们展示了实验数据与基于有限元模拟的模型之间的极好一致性，该模型描述了元素源在连续波激光辐射照射下的温度分布。该模拟强烈依赖于材料的热物理常数，而许多元素缺乏这些数据。可以通过材料熔点提供的明确参考精确确定参数的有效值，该熔点在实验过程中被直接观测到。因此，TLE 可用于研究元素的高温热物理和光学性质。
引用
@article{arxiv.2501.01859,
title = {Deposition Rates in Thermal Laser Epitaxy: Simulation and Experiment},
author = {Thomas J. Smart and Bilen Emek Abali and Hans Boschker and Wolfgang Braun},
journal= {arXiv preprint arXiv:2501.01859},
year = {2025}
}