基于阵列化电子束微柱系统用于晶圆缺陷检测的潜力考量
仪器与探测器
2008-05-05 v1
摘要
本文探讨了专用于缺陷检测的电子束柱系统。简要讨论了在检测阶段需要检查或可能检查的缺陷类型。确定了系统参数之间的相互关系，并讨论了优化方法及对整个系统的技术要求。结果表明，我们找到了针对该目的的系统参数最优组合。
引用
@article{arxiv.0805.0248,
title = {Consideration of arrayed $e$-beam microcolumn based systems potentialities for wafer defects inspection},
author = {V. V. Kazmiruk and T. N. Savitskaja},
journal= {arXiv preprint arXiv:0805.0248},
year = {2008}
}
备注
17 pages, 18 figures