Q 与 MEMS 和 压电共振器的 TCF 之间的关系

任何 MEMS 共振器的两个关键特性是品质因数（Q）和频率温度系数（TCF）。本文演示了 Q 与 TCF 之间的关系，基于一个现象学的无阻尼振子模型。具体而言，证明了导致 TCF 的相同非线性项设置了共振器 Q 的上限。找到了一个简洁的公式来估计这种损耗，并显示其与阿赫赫泽尔（Akhiezer）阻尼的 Woodruff 公式密切相关。通过将模型扩展到重要的 MEMS 类——压电共振器——来说明该公式的用途。最后，该模型被应用于一块 AlN-on-diamond 压电共振器的已发表数据。本文的焦点是 MEMS 共振器，但该方法应广泛适用于任何非零 TCF 的共振。