使用压电致动器实现高效应变传递的不同键合技术比较
材料科学
2017-04-07 v1
摘要
本文使用最先进的 X 射线衍射（XRD）技术和有限元方法（FEM）模拟，研究了从单晶压电铅镁铌酸盐-钛酸铅（PMN-PT）衬底到键合在其上的 GaAs 半导体膜的应变传递效率。研究了两种不同的键合技术，即金热压键合和基于聚合物的 SU8 键合。我们的结果显示，与通过金热压的“硬”键合相比，“软” SU8 键合具有更高的应变传递。XRD 结果与 FEM 模拟之间的比较允许用不同层之间复杂界面结构的存在来解释这一意外结果。
引用
@article{arxiv.1702.00262,
title = {Comparison of different bonding techniques for efficient strain transfer using piezoelectric actuators},
author = {Dorian Ziss and Javier Martín-Sánchez and Thomas Lettner and Alma Halilovic and Giovanna Trevisi and Rinaldo Trotta and Armando Rastelli and Julian Stangl},
journal= {arXiv preprint arXiv:1702.00262},
year = {2017}
}
备注
17 pages, 7 Figures, 1 Table