微加工微物体的毛细管折纸：双层导电铰链

最近，我们展示了通过刚性板之间由柔性铰链连接的氮化硅微物体的毛细力实现可控的 3D 自折叠 [1]。在本文中，我们引入了从基板跨越这些可弯曲铰链延伸至板的铂电极。对于长度小于 75 {\mu}m 的铰链，制造良率高达 (77 +/- 2) %。当长度增加到超过 100 {\mu}m 时，良率降至 (18 +/- 2) %。大多数导电失效是由于最终的等离子体清洗步骤中铂/铬层堆栈的降解所致。双层铰链能够承受毛细管折叠过程，即使对于极小的 5 {\mu}m 弯曲半径也是如此，且弯曲对导电性没有任何影响。不同层中的应力会使铰链变形，但这不影响导电性。组装完成后，导电铰链可承受 (1.6 +/- 0.4) $10^6$ A/cm$^2$ 的电流密度。将导电电极引入弹性毛细管自折叠的硅基微物体，通过允许折叠部分具备电子功能，扩展了其可能的应用范围。