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通过分级自组装自下而上制备高度有序金属纳米结构

介观与纳米尺度物理 2017-07-07 v1 材料科学

摘要

在完全依赖自组装过程的层级化纳米图案化流程中,我们结合晶体表面重构、共聚物微相分离以及选择性金属扩散,在平方厘米面积上生成高度规则阵列中的单分散金属纳米结构。Fe 纳米结构形成过程中的原位 GISAXS 证明了自组装体系出色的结构有序性,并暗示了通过外部工艺参数塑造纳米结构的可能性。因此,我们证明通过自组装的纳米图案化是基于光刻流程的具有竞争力的替代方案,能以显著降低的代价实现可比的图案规则性、特征尺寸和图案面积。在图案形成期间进行原位研究的选项、定制纳米结构形貌的可能性、以超高结构密度图案化任意大区域的能力,以及单独寻址纳米结构的潜力,使得众多应用成为可能,例如在高密度磁数据存储、功能纳米结构材料(如用于光子学或催化)或基于表面等离激元共振的传感中。

关键词

引用

@article{arxiv.1506.01297,
  title  = {Bottom-up fabrication of highly ordered metal nanostructures by hierarchical self-assembly},
  author = {Denise Erb and Kai Schlage and Ralf Röhlsberger},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1506.01297},
  year   = {2017}
}

备注

21 pages, 9 figures, 1 table