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具有升高转变温度和高电阻开关的双层二氧化钒薄膜

材料科学 2024-01-01 v1 强关联电子

摘要

尽管二氧化钒(VO2_2)的相变应用引起了广泛关注,但制备具有升高转变温度(TIMT)和高绝缘体-金属转变电阻开关的高质量VO2_2薄膜仍然是一个挑战。本研究引入了一种两步大气氧化方法,在c面蓝宝石衬底上制备双层VO2x_{2-x}/VO2_2薄膜。为了量化VO2_2缓冲层的影响,还制备了相同厚度的单层VO2_2薄膜。其中顶层VO2x_{2-x}薄膜欠氧化的双层VO2x_{2-x}/VO2_2薄膜显示出TIMT升高至约97 ^\circC,这是迄今为止报道的VO2_2薄膜中最高的之一,且以无掺杂方式实现。我们的结果还揭示了电阻开关增加一个数量级,最佳双层VO2_2/VO2_2薄膜从25 ^\circC到110 ^\circC显示出约3.6个数量级的开关,而最佳单层VO2_2参考薄膜则不然。这伴随着其金属相中导通态电阻降低一个数量级。TIMT的升高,加上从双层薄膜XRD表征中提取的应变增加,表明沿c轴可能存在压应变。这些VO2x_{2-x}/VO2_2薄膜还显示出其电阻-温度曲线斜率的显著变化,与传统的平滑转变相反。这一特征归因于由于顶层VO2x_{2-x}薄膜具有降低的TIMT而形成的金红石/单斜准异质结构。我们的发现对于VO2_2薄膜器件的清晰制备以及关联氧化物中相变的研究都具有重要意义。

关键词

引用

@article{arxiv.2312.17437,
  title  = {Bilayer Vanadium Dioxide Thin Film with Elevated Transition Temperatures and High Resistance Switching},
  author = {Achintya Dutta and Ashok P and Amit Verma},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2312.17437},
  year   = {2024}
}