面向原子分辨率低剂量 STEM 的自动图像采集
材料科学
2018-03-19 v2
摘要
电子束损伤是电子显微镜的一个主要限制，在更高分辨率下变得更加严重。规避辐射损伤的一种可能途径是将剂量分散在物体的许多相同副本上，这是单粒子电子显微镜及相关技术的基础。对于低剂量数据的采集，理想情况下在采集数据之前不应对感兴趣区域施加任何剂量。我们提出了一种自动化方法，能够在用户定义的感兴趣区域中以原子分辨率采集图像，从而高效收集大量数据。我们证明，Nion UltraSTEM 的样品台机械结构结合移动样品的智能算法，允许从石墨烯基底的微米级区域自动采集原子分辨图像。在感兴趣区域上以规则图案自动移动样品台，能够从原始样品区域收集数据，而不会在记录图像之前将其暴露于电子束。因此，可以获得最小剂量的数据（无对焦带来的预曝光），这仅受数据处理所需的最小信号限制。这使我们能够防止样品中的电子束诱导损伤，并在合理的时间内采集大型数据集。
引用
@article{arxiv.1803.05837,
title = {Automated image acquisition for low-dose STEM at atomic resolution},
author = {Andreas Mittelberger and Christian Kramberger and Christoph Hofer and Clemens Mangler and Jannik C. Meyer},
journal= {arXiv preprint arXiv:1803.05837},
year = {2018}
}