用于与 CMOS 兼容纳米光子电路后端集成的原子层沉积二阶非线性光学超材料
光学
2023-07-19 v1
摘要
我们报道了表现出有效体二阶非线性的人工一维晶体的制备。这些晶体是通过循环沉积三种介电材料的原子层沉积制造的，使得所得超材料在沉积方向上呈非中心对称。通过二次谐波产生的 Maker 条纹测量对结构进行表征，结果表明其非线性极化率张量的主分量约为 5 pm/V，这与成熟的材料相当，且比类似晶体 [1-Alloatti et al, arXiv:1504.00101[cond-mat.mtrl-sci]] 报道的值大一个数量级以上。我们的演示为在 CMOS 兼容的纳米光子平台上实现二阶非线性效应开辟了新的可能性。
引用
@article{arxiv.1508.05275,
title = {Atomic layer deposited second order nonlinear optical metamaterial for back-end integration with CMOS-compatible nanophotonic circuitry},
author = {StÉphane Clemmen and Artur Hermans and Eduardo Solano and Jolien Dendooven and Kalle Koskinen and Martti Kauranen and Edouard Brainis and Christophe Detavernier and Roel Baets},
journal= {arXiv preprint arXiv:1508.05275},
year = {2023}
}
备注
4 pages, 2 tables, 4 figures, submitted to Optics Letters