评估离子铣削声子介导量子奇偶校验探测器的运行特性

声子敏感超导量子比特有望提供亚 eV 的能量沉积阈值，这对于未来寻找暗物质和中微子相互作用的稀有事件实验非常有用。我们在此详述了量子奇偶校验探测器（QPD）的工程结果，QPD 是声子敏感量子比特的一种，并作为首次测量，展示了该器件的静态准粒子密度为 $1.8 \pm 0.8 \mu \mathrm{m}^{-3}$，与预期一致。我们还概述了用于多步 Josephson 结制备的氩离子铣削工艺，扩充了关于该主题的稀少文献，这对于避免寄生次级结非常有用。