用于光谱红外传感的上芯片四波长热释电传感器
应用物理
2019-08-28 v1 材料科学
摘要
将光子结构与光电传感器集成到单一芯片上，可制得能够测量物质光谱的上芯片传感光谱器件。在这项工作中，我们提出并实现了一种上芯片并发多波长红外（IR）传感器。所制备的四波长红外传感器在正入射时呈现出四种不同的窄带光谱响应，对应于中波红外区域（即大气窗口）中预先设计的谐振。该器件可应用于实际光谱应用，如非色散红外传感器、红外化学成像器件、高温计以及光谱热成像。
引用
@article{arxiv.1908.10002,
title = {An On-Chip Quad-Wavelength Pyroelectric Sensor for Spectroscopic Infrared Sensing},
author = {Thang Duy Dao and Satoshi Ishii and Anh Tung Doan and Yoshiki Wada and Akihiko Ohi and Toshihide Nabatame and Tadaaki Nagao},
journal= {arXiv preprint arXiv:1908.10002},
year = {2019}
}