通过电场诱导的水分子吸附控制氧化硅界面上的附着力
软凝聚态物质
2025-08-26 v1
摘要
附着力在计算机芯片制造中发挥着关键作用，直接影响定位组件（如晶圆台）的精度和耐久性。广泛用于消除浮动电位并实现静电夹紧的电偏置方法在附着力持续存在且附着力滞后现象的本质仍知之不多时，电接地后附着力仍可保留。本文利用原子力显微镜研究了电场诱导的附着力滞后现象，具体针对 n 型 AFM 尖头与 p 型硅样品之间的界面进行探讨。我们的发现表明， neither 电荷陷阱 nor 硅氧烷键的形成对测量得到的附着力影响不大。令人惊讶的是，我们展示了在低相对湿度 (RH < 10%) 下，附着力可以通过电场诱导的水分子吸附进行调控。我们的结果为理解附着力滞后及附着力控制提供了新的机遇。
引用
@article{arxiv.2508.17724,
title = {Adhesion Control through Electric Field-Induced Water Adsorption at Oxidized Silicon Interfaces},
author = {Tunç Çiftçi and Jonathon Cottom and Rachid Hahury and Emilia Olsson and Bart Weber},
journal= {arXiv preprint arXiv:2508.17724},
year = {2025}
}