旋涂薄膜下埋藏纳米尺度物体的精准定位与操控
应用物理
2017-04-27 v1 介观与纳米尺度物理
摘要
埋藏在旋涂薄膜之下的纳米尺度结构的检测与精确定位，是纳米制造技术极具价值的补充。原则上，最终薄膜的形貌包含关于埋藏特征位置的信息。然而，人们普遍认为这种关系被流动效应所掩盖，流动效应导致干膜形貌向上游偏移，使得精确定位不可能。本文中，我们从理论和实验上证明，流动偏移范式在亚微米尺度下不适用。具体而言，我们表明抗蚀剂形貌可通过与对称高斯核的卷积运算准确获得，该核的参数仅取决于抗蚀剂特性。我们利用这一发现，通过热扫描探针光刻技术，实现了与直径 27 nm 的 InAs 纳米线接触的金属触点的 3 nm 精度覆盖层制造。
引用
@article{arxiv.1704.07827,
title = {Accurate Location and Manipulation of Nano-Scaled Objects Buried under Spin-Coated Films},
author = {Colin Rawlings and Heiko Wolf and James Hedrick and Dan Coady and Urs Duerig and Armin W. Knoll},
journal= {arXiv preprint arXiv:1704.07827},
year = {2017}
}
备注
23 pages, 5 figures