一种用于研究磁性薄膜与器件的多功能旋转台高频探针台

我们提出了一种适用于磁性薄膜和自旋电子器件的旋转台微波探针台。设计了两个旋转台，一个用于实现磁场从平行于样品平面到垂直于样品平面的旋转（面外旋转），另一个用于实现磁场在样品平面内的旋转（面内旋转）。样品、探针和微定位器随旋转台同步旋转，这使得磁场取向可覆盖 $\theta$ 从 0 到 $90^{\circ}$ 以及 $\varphi$ 从 0 到 $360^{\circ}$。$\theta$ 和 $\varphi$ 分别为面外旋转和面内旋转时电流方向与磁场方向之间的夹角。工作频率最高可达 40 GHz，磁场最高可达 1 T。样品座、视觉系统和探针组件设计紧凑，可使探针落在直径最大为 3$\,$cm 的晶圆上。利用自制多针探针和商用高频探针，演示了包括四探针直流测量、畴壁速度测定和自旋转移矩铁磁共振在内的多种应用。