用于流体密度传感的 PMUT 集成微流控系统
应用物理
2021-04-27 v1
摘要
我们展示了一种双电极 PMUT（压电微机械超声换能器，Piezoelectric Micromachined Ultrasound Transducer）与微流控通道集成的设计、制造与使用，作为在静态和动态密度变化条件下的流体密度传感器。双电极配置使 PMUT 谐振器成为自包含谐振峰偏移传感器，而微流控集成使该系统成为通用流体密度传感平台，可用于极少量流体在各种工业和医疗应用中。此处在进行流动流体条件下开展的密度测量展示了该系统作为实时流体密度监测系统的潜力。我们包含了在 1020 - 1090 kg/m3 范围内的密度测量结果，该范围对应于通常因其血红蛋白含量变化引起的人体血液密度变化。传感器的灵敏度 -26.3 Hz/(kg/m3) 足以可靠地检测甚至人体血液血红蛋白含量 1% 的变化。因此，该系统也可能潜在地用作医疗应用中的血红蛋白测量传感器。
引用
@article{arxiv.2104.11793,
title = {A PMUT Integrated Microfluidic System for Fluid Density Sensing},
author = {Kaustav Roy and Kritank Kalyan and Anuj Ashok and Vijayendra Shastri and Antony Jeyaseelan and Avinandan Mandal and Rudra Pratap},
journal= {arXiv preprint arXiv:2104.11793},
year = {2021}
}
备注
8 pages, 16 figures