圆柱与同轴表面波放电的体积平均全局模型
等离子体物理
2017-06-28 v1
摘要
建立了体积平均全局模型，以研究圆柱或同轴结构内的表面波放电。基于针对电正性和电负性等离子体的简化解析描述，自洽地估算了中性粒子与离子壁通量。针对连续与脉冲调制功率输入，将模拟结果与来自不同放电装置（充氩或充氧）的实验数据（测量值或文献值）进行比较。模拟与测量之间观察到良好一致性。计算表明，壁通量常常对各个物种的净损失率有显著贡献。
引用
@article{arxiv.1612.07268,
title = {A global model of cylindrical and coaxial surface-wave discharges},
author = {Efe Kemaneci and Felix Mitschker and Marcel Rudolph and Daniel Szeremley and Denis Eremin and Peter Awakowicz and Ralf Peter Brinkmann},
journal= {arXiv preprint arXiv:1612.07268},
year = {2017}
}
备注
22 pages, 9 figures