纳米/微机械谐振器热机械标定的通用程序
介观与纳米尺度物理
2013-10-24 v1
摘要
我们详细描述了一种利用纳米/微机械谐振器的热运动对其进行标定的通用程序。首先简要介绍了此类谐振器的运动方程，随后详细推导了相应的功率谱密度 (PSD) 函数。利用有限元方法 (FEM) 建模和解析计算，确定了多种不同几何形状谐振器的有效质量。
引用
@article{arxiv.1305.0557,
title = {A general procedure for thermomechanical calibration of nano/micro-mechanical resonators},
author = {B. D. Hauer and C. Doolin and K. S. D. Beach and J. P. Davis},
journal= {arXiv preprint arXiv:1305.0557},
year = {2013}
}
备注
18 pages, 8 figures, 12 tables