手套箱中的洁净室
应用物理
2020-07-29 v1 其他凝聚态物理
摘要
对新物质、新颖量子相和器件的探索需要以更小特征尺寸制备更洁净样品的方法。最初，这意味着使用限制粉尘颗粒数量和大小的洁净室。然而，许多材料对空气中的氧和水高度敏感。此外，对经过训练并能够使用设备来制备和表征材料的量子人才队伍日益增长的需求，要求大幅降低此类设施的创建与运行成本。为此，我们提出了手套箱中的洁净室，一种可在惰性氩气氛围中制备和表征器件的系统。我们展示了在氩气环境中无需专用房间即可执行广泛表征以及制备步骤的能力。还展示了与真空手提箱的连接，以便接收并转移至各种超高真空（UHV）设备，包括分子束外延（MBE）和扫描隧道显微镜（STM）。
引用
@article{arxiv.2007.13784,
title = {A Cleanroom in a Glovebox},
author = {Mason J. Gray and Narendra Kumar and Ryan O'Connor and Marcel Hoek and Erin Sheridan and Meaghan C. Doyle and Marisa L. Romanelli and Gavin B. Osterhoudt and Yiping Wang and Vincent Plisson and Shiming Lei and Ruidan Zhong and Bryan Rachmilowitz and He Zhao and Hikari Kitadai and Steven Shepard and Leslie M. Schoop and G. D. Gu and Ilija Zeljkovic and Xi Ling and K. S. Burch},
journal= {arXiv preprint arXiv:2007.13784},
year = {2020}
}