氧化物孔径微腔单光子发射二极管

我们开发了一种基于平面腔内单个量子点的微腔单光子源，其中高铝含量层的湿法氧化提供了光子模式和注入电流的横向限制。在光泵浦结构中，光学模式的横向限制产生了辐射衰减速率的显著增强。利用掺杂接触层的微腔结构，我们展示了一种单光子发射二极管，其中电流可注入到单个量子点中。