X 射线成像非破坏性识别功能性三维光子纳米结构
应用物理
2020-01-22 v1
摘要
为研究三维（3D）纳米结构的性能，对其内部结构进行原位非破坏性研究至关重要。因此，我们对典型的三维硅光子带隙晶体进行了同步辐射 X 射线全息层析成像，无需不可逆的制备步骤。在此，我们以 20 纳米分辨率获得了埋于 2 mm^2 光束上的完整晶体的实空间三维密度分布。我们的 X 射线结果揭示了在扫描电子显微镜下看似相似的结构却具有迥异纳米光子功能性的原因：具有宽光子带隙的晶体呈现出如设计般的三维周期性（“好”），无带隙的第二个结构呈现出埋藏空隙（“坏”），无带隙的第三个结构因制备误差而较浅（“丑”）。我们得出结论，X 射线层析成像是严格评估三维功能性纳米结构的关键工具。
引用
@article{arxiv.1808.01392,
title = {X-ray imaging non-destructively identifies functional 3D photonic nanostructures},
author = {D. A. Grishina and C. A. M. Harteveld and A. Pacureanu and D. Devashish and A. Lagendijk and P. Cloetens and W. L. Vos},
journal= {arXiv preprint arXiv:1808.01392},
year = {2020}
}
备注
8 pages, 5 figures, includes supplementary material