理解远程聚焦的极限

先前在仿真与实验中均已证明，对准良好的远程聚焦显微镜在焦平面外呈现残余球差。本工作中，残余球差的补偿由主物镜上的校正环提供，并由高精度步进电机控制。使用 Shack-Hartmann 波前传感器证明校正环产生的球差大小与物镜光学模型所预测者一致。通过考量轴上与离轴彗差和像散——它们是远程聚焦显微镜的固有特征——描述了球差补偿对远程聚焦系统衍射极限范围的有限影响。