用于具有电馈通的光电流光谱学池的三层堆叠玻璃-玻璃阳极键合
原子物理
2015-06-19 v1 仪器与探测器
摘要
我们展示了利用阳极键合技术构建真空密封蒸气池的方法,该蒸气池用于碱金属原子的里德伯光谱学,池内带有薄膜电极。该池通过在 300°C 下同时进行三层堆叠玻璃-玻璃阳极键合来制造。这种无胶、低温密封技术提供了集成薄膜电馈通的可能性。压力展宽仅受铷蒸气压的限制,且在高达 230°C 的工作温度下,其寿命至少为四个月。
引用
@article{arxiv.1403.1093,
title = {Triple stack glass-to-glass anodic bonding for optogalvanic spectroscopy cells with electrical feedthroughs},
author = {Renate Daschner and Harald Kübler and Robert Löw and Holger Baur and Norbert Frühauf and Tilman Pfau},
journal= {arXiv preprint arXiv:1403.1093},
year = {2015}
}