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用于具有电馈通的光电流光谱学池的三层堆叠玻璃-玻璃阳极键合

原子物理 2015-06-19 v1 仪器与探测器

摘要

我们展示了利用阳极键合技术构建真空密封蒸气池的方法,该蒸气池用于碱金属原子的里德伯光谱学,池内带有薄膜电极。该池通过在 300°C 下同时进行三层堆叠玻璃-玻璃阳极键合来制造。这种无胶、低温密封技术提供了集成薄膜电馈通的可能性。压力展宽仅受铷蒸气压的限制,且在高达 230°C 的工作温度下,其寿命至少为四个月。

关键词

引用

@article{arxiv.1403.1093,
  title  = {Triple stack glass-to-glass anodic bonding for optogalvanic spectroscopy cells with electrical feedthroughs},
  author = {Renate Daschner and Harald Kübler and Robert Löw and Holger Baur and Norbert Frühauf and Tilman Pfau},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1403.1093},
  year   = {2015}
}