基于可见光修整的硅富氮材料中大范围双向折射率变化
社会与信息网络
2025-09-17 v3
摘要
介质依赖的集成光子器件高度易受制造偏差的影响，导致显著的性能不一致性。这种变异性限制了其规模化和广泛采用。本文通过连续波（CW）可见光（405 nm和520 nm）修整载流子沉积（PECVD）硅富氮（SRN）波导，实现了显著的进展。该方法在CMOS兼容的SRN样品（折射率分别为2.4和2.9，测于1550 nm）中，实现了精确的双向折射率调谐。通过构建用于实时共振跟踪的微环共振器的成本效益设置，实现了最细微的共振波长位移（10 pm）。此外，演示了纪录般的红移49.1 nm和约10.6 nm的显著蓝移，分别对应约0.11和-0.02的折射率变化。蓝移和红移均确实归因于热 Annealing。这些结果突显了SRN在永久光学调谐方面的卓越能力，为稳定、精确可控的介质依赖集成光子器件性能奠定了基础。
引用
@article{arxiv.2412.06216,
title = {Top-r Influential Community Search in Bipartite Graphs},
author = {Yanxin Zhang and Zhengyu Hua and Long Yuan and Zi Chen},
journal= {arXiv preprint arXiv:2412.06216},
year = {2025}
}