由有质动力电流驱动的感应耦合等离子体中的参数不稳定性

针对感应放电中电子在射频波中的颤动速度达到或大于电子热速度的情形，发展了趋肤层等离子体的稳定性理论。该理论基于振荡模方法，该方法考虑了在空间非均匀射频场趋肤层中电子组分相对于不动离子的振荡运动。理论预言了趋肤层中存在参数型不稳定性，其增长率与频率相当。该不稳定性源于射频场中电子-离子相对运动引起的两种效应的耦合：扰动势谐波的出现以及它们因有质动力电流而产生的耦合。该不稳定性存在于有质动力电流速度的有限区间内，且在均匀无界等离子体中不存在。