芯片级声学集成电路中 GHz 声波的时序动力学

声学集成电路通过在 μm 级波导中操控 GHz 频率的声学场，为在深亚波长几何尺度内路由和操控微波提供了新的自由度，这与芯片级传感和信号处理有关的意义。低传输损耗、长相互作用长度以及声速慢，结合现代矢量网络分析仪 (VNA) 可获得的大带宽和高频率分辨率，使得可视化这些器件中传播声学场的时序动力学成为可能。我们在此讨论的两个典型实例分别是声学微环谐振器中的脉冲循环和回响，以及在波导谐振器几何结构中观察到的（寄生）多径干扰效应。在快速的 3D 声学场成像模态尚不存在的情况下，基于时域反射仪的方法为映射界面反射和损耗提供了最佳替代方案，这种方法随着器件复杂性的增加变得日益关键。