基于磷化镓-氮化物环形谐振器的目标波长微调二次谐波生成
光学
2021-10-11 v2 应用物理
摘要
我们展示了一种基于磷化镓 on 氮化硅集成光子平台的制备后目标波长微调方法，该方法利用对氢倍半硅氧烷包层的受控电子束曝光实现。电子束曝光剂量与谐振波长红移之间的线性关系，使得同一芯片上多个器件可被确定性地单独微调至单一目标波长的 30 pm 以内。我们在多个器件中展示了从通信波段到近红外目标波长的二次谐波生成，其品质因子量级为 。制备后调谐是用于量子频率转换等目标波长应用的重要工具。
引用
@article{arxiv.2110.03612,
title = {Target-wavelength-trimmed second harmonic generation with gallium phosphide-on-nitride ring resonators},
author = {Lillian Thiel and Alan D. Logan and Srivatsa Chakravarthi and Shivangi Shree and Karine Hestroffer and Fariba Hatami and Kai-Mei C. Fu},
journal= {arXiv preprint arXiv:2110.03612},
year = {2021}
}