表面声子极化激元增强 SiN 纳米膜的热传导
介观与纳米尺度物理
2019-08-06 v1 应用物理
摘要
表面声子极化激元可在介电薄膜表面携带能量，因此有望对热传导产生贡献。然而，表面声子极化激元（SPhPs）对热传输的贡献尚未得到实验证明。在这项工作中，我们实验测量了非晶硅氮化物膜的有效面内热导率，并表明当膜厚度减小时，它确实可被 SPhPs 显著增强。特别地，通过将薄膜（<100 nm）从 300 K 加热到 800 K，由于 SPhPs 的贡献，热导率增加了一倍。
引用
@article{arxiv.1908.01247,
title = {Surface phonon-polaritons enhance thermal conduction in SiN nanomembranes},
author = {Yunhui Wu and Jose Ordonez-Miranda and Sergei Gluchko and Roman Anufriev and Sebastian Volz and Masahiro Nomura},
journal= {arXiv preprint arXiv:1908.01247},
year = {2019}
}