具有高吸收率的无衬底太赫兹焦平面超材料阵列
应用物理
2020-12-08 v1 光学
摘要
具有光学读出的微机电系统（MEMS）焦平面阵列（FPA）为实时太赫兹（THz）成像提供了令人振奋的机遇。然而，传统FPA的太赫兹吸收率较低，进一步降低了太赫兹成像性能。在此，我们提出一种简单且可扩展的方法来实现具有较高吸收率的太赫兹焦平面超材料阵列。其核心思想是将无衬底结构与超材料的优势相结合。我们设计、制备并表征了像素为150×150 μm的100×100太赫兹FPA。研究了太赫兹吸收率对SiNx介电衬底膜厚度的依赖关系。所制备的FPA在1.36 THz处表现出90.6%的谐振吸收，与理论仿真结果相当吻合。我们的结果表明，这种无衬底太赫兹焦平面超材料阵列能够实现太赫兹成像。
引用
@article{arxiv.2012.03252,
title = {Substrate-free THz focal plane metamaterial array with high absorption ratio},
author = {Zhigang Li and Yi Ou and Xubiao Peng and Jianyu Fu and Wen Ou and Wenjing Jiang and Qing Zhao},
journal= {arXiv preprint arXiv:2012.03252},
year = {2020}
}
备注
8 pages