基于亚微米纳米结构的 CMOS 图像传感器 RGB 滤光片
光学
2019-04-26 v1
摘要
数字彩色成像依赖于像素化传感器（如 CMOS 图像传感器）上方的光谱滤光片。成像设备的一个重要参数是其分辨率，它取决于像素尺寸。对于许多应用，高分辨率是所期望的，因此需要小型光谱滤光片。介电纳米结构由于其谐振行为及可调性，提供了组装灵活且微型的光谱滤光片的可能性，有望替代传统的颜料基和染料基彩色滤光片。在本文中，我们展示了基于等高非晶硅纳米结构的透射式结构色的生成。我们针对原色 RGB 优化了结构，并报道了像素尺寸小至 0.5 {\mu}m 的亚微米 RGB 滤光片阵列的构建。
引用
@article{arxiv.1812.01652,
title = {Sub-micrometer Nanostructure-based RGB Filters for CMOS Image Sensors},
author = {Jonas Berzinš and Stefan Fasold and Thomas Pertsch and Stefan M. B. Bäumer and Frank Setzpfandt},
journal= {arXiv preprint arXiv:1812.01652},
year = {2019}
}