高品质因数纳米机械谐振器的强栅极耦合
介观与纳米尺度物理
2015-05-20 v1
摘要
在量子极限附近检测机械振动是一项艰巨的挑战，因为当声子量子数趋近于零时，位移变得极其微小。片上纳米机械谐振器的一个有趣设置是将其与电微波腔耦合以进行检测和操控。在这里，我们展示了如何实现高达(2π) 1 MHz/nm的大腔耦合能量，用于数十MHz的金属梁谐振器。我们使用聚焦离子束(FIB)切割在悬浮铝膜中产生低至10 nm的均匀狭缝，将图案化的谐振器与其栅电极分离。我们测量了低至25 mK温度下的热机械振动，并在平衡浴温度下获得了约二十个声子的低数量。FIB切割后铝的机械性能优异，我们在25 mK温度下记录到67 MHz谐振器的品质因数Q ~ 3 x 10^5。在0.2K至2K之间，我们发现耗散与温度呈线性关系。
引用
@article{arxiv.1011.4645,
title = {Strong gate coupling of high-Q nanomechanical resonators},
author = {Jaakko Sulkko and Mika A. Sillanpää and Pasi Häkkinen and Lorenz Lechner and Meri Helle and Andrew Fefferman and Jeevak Parpia and Pertti J. Hakonen},
journal= {arXiv preprint arXiv:1011.4645},
year = {2015}
}
备注
6 pages