大气压um-jet等离子体源的光谱表征
等离子体物理
2015-05-27 v1
摘要
使用He/O2混合物研究射频um-jet等离子体源。该um-jet可作为化学活性物种（如氧原子、分子亚稳态和臭氧）的源，用于不同的应用。使用绝对校准的光学发射光谱和数值模拟，确定了活性等离子体区的气体温度和等离子体参数（电子密度和电子分布函数）。使用发射和吸收光谱测量了等离子体通道和等离子体源射流中氧原子和臭氧的浓度。为了解释测得的空间分布，使用确定的等离子体参数和气体温度计算了稳态物种浓度。同时，讨论了表面过程和气流状态对等离子体源中活性物种损失的影响。将测得的氧原子和臭氧密度的空间分布与模拟结果进行了比较。
引用
@article{arxiv.1104.3786,
title = {Spectroscopic characterization of atmospheric pressure um-jet plasma source},
author = {Nikita Bibinov and Nikolas Knake and Hendrik Bahre and Peter Awakowicz and Volker Schulz-von der Gathen},
journal= {arXiv preprint arXiv:1104.3786},
year = {2015}
}
备注
29 pages, 10 figures