SEMI-PointRend：将半导体晶圆缺陷分类与分割改进为渲染
计算机视觉与模式识别
2023-06-08 v1
摘要
在本研究中，我们将PointRend（基于点的渲染）方法应用于半导体缺陷分割。PointRend是一种受计算机图形学中图像渲染启发的迭代分割算法，是一种能够生成高分辨率分割掩码的新型图像分割方法。它还可以灵活地集成到常见的实例分割元架构（如Mask-RCNN）和语义分割元架构（如FCN）中。我们实现了一个名为SEMI-PointRend的模型，通过应用PointRend神经网络模块来生成精确的分割掩码。本文重点比较了SEMI-PointRend和Mask-RCNN对各种缺陷类型（线坍塌、单桥接、细桥接、多桥接非水平）的缺陷分割预测。我们表明，SEMI-PointRend在分割平均精度上可以比Mask R-CNN高出多达18.8%。
引用
@article{arxiv.2302.09569,
title = {SEMI-PointRend: Improved Semiconductor Wafer Defect Classification and Segmentation as Rendering},
author = {MinJin Hwang and Bappaditya Dey and Enrique Dehaerne and Sandip Halder and Young-han Shin},
journal= {arXiv preprint arXiv:2302.09569},
year = {2023}
}
备注
7 pages, 6 figures, 5 tables. To be published by SPIE in the proceedings of Metrology, Inspection, and Process Control XXXVII