紧凑磁感器件、变压器与谐振器的卷曲自组装

经光刻图案化的超薄膜的三维自组装为制造具有传统二维技术无法实现的功能与集成方案的微电子架构提供了一条途径。在其他微电子组件中，电感、变压器、天线与谐振器常依赖三维构型及与电磁场的相互作用，当其缩小至微米尺度时 fabrication 工作量呈指数增长。本文展示了功能结构的受控自组装。通过将超薄膜卷曲成圆柱形微电子器件，我们实现了电磁谐振器、感性线圈与互耦线圈。这些器件的电学性能纯粹通过由平面向圆柱几何的变换而提升。与此同时，器件 footprint 面积整体缩小逾 50 倍。紧凑自组装微结构的应用对电子学具有显著影响，通过三维成形减小尺寸、降低 fabrication 工作量，并为器件带来大量新特性。