微电子行业与可持续性应用相关激光诱导荧光转化的报告
等离子体物理
2024-06-13 v1
摘要
微电子与可持续性应用所使用的气体种类繁多，以产生低温等离子体。这些等离子体常具有复杂的活性与非活性物种组合，可能在密度、温度和能量上存在空间和时间上的变化。准确把握这些参数及其变化对于通过验证和预测建模来理解和推进相关设备至关重要。激光诱导荧光(LIF)技术可提供关于等离子体产生的自由基、离子和激发态物质的空间和时间分辨信息。然而，该强大诊断工具的应用需要掌握包括激发和荧光波长在内的光学转化条件，而这些信息可能分散在广泛的文献领域中。本文收集、分析并整理了针对微电子行业和可持续性应用的超过 160 种化学物种的 LIF 转化波长。已识别出具有重叠 LIF 激发与荧光波长的物种列表。本总结旨作为 LIF 转化的数据参考，未来将予以更新。
引用
@article{arxiv.2406.07747,
title = {Report on laser-induced fluorescence transitions relevant for the microelectronics industry and sustainability applications},
author = {V. S. Santosh K. Kondeti and Shurik Yatom and Ivan Romadanov and Yevgeny Raitses and Leonid Dorf and Andrei Khomenko},
journal= {arXiv preprint arXiv:2406.07747},
year = {2024}
}